氯化氫

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電子特氣的凈化尤為重要

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電子特氣的凈化尤為重要

作者:山東言赫小編     發(fā)布時(shí)間:2018-12-12 09:23:12

    電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和關(guān)聯(lián)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè),或用于薄膜堆積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗,或用作載氣、維護氣氛等等。因為半導體和微電子技能向更高功能、更高集成度開(kāi)展,對電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的需求,電子特氣的凈化尤為重要。

    目前國內的超高純度凈化技能首要依靠進(jìn)口,本身的技能水準(6N)與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大距離。本項目將描繪和研制一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新式納米凈化劑,對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反響性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列,50多種電子特氣進(jìn)行結尾凈化,使電子特氣純度由ppm級進(jìn)步到ppb、ppt級,并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小,然后極大地改進(jìn)工藝才能,下降產(chǎn)物缺點(diǎn), 進(jìn)步制程的產(chǎn)值,滿(mǎn)意下一代半導體、微電子以及關(guān)聯(lián)高技能開(kāi)展的需求。本項目將構成有自主知識產(chǎn)權的超高純度電子特氣凈化技能,處理超高純度電子特氣凈化這一核心技能的國產(chǎn)化問(wèn)題。 

    山東言赫專(zhuān)業(yè)經(jīng)營(yíng)淄博萬(wàn)達利特種氣體公司生產(chǎn)的氯化氫氣體是在淄博齊魯石化工業(yè)園區注冊的高新科技企業(yè),淄博萬(wàn)達利直屬于北京華宇同方,主要從事新材料技術(shù)和化工新技術(shù)的研發(fā),以及高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷(xiāo)售。研發(fā)的沸石催化劑及其應用技術(shù)處于世界先進(jìn)水平.生產(chǎn)的“華宇同方”牌高純氯化氫產(chǎn)品與國際知名品牌的性能相當,為半導體器件制造業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和醫藥工業(yè)提供了充足的優(yōu)質(zhì)原材料。